В. Ю. Киреев

В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ул...

Киреев Ю.В. Технология переработки воска c применением энергии электромагнитного поля СВЧ – диапазона. Электронный журнал «ИССЛЕДОВАНО В РОССИИ». В статье: Обзор существующих (традиционных) технологий по переработке воскосырья; Требования к способам и устройствам стерилизации воска; Требования к способам и устройствам по вытопке воска из воскосодержащего сырья; Обзор существующих достижений в данн...