Читать онлайн «Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 2. Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования»

Copyright ОАО «ЦКБ «БИБКОМ» & ООО «Aгентство Kнига-Cервис» М. А. Королёв, Т. Ю. Крупкина, М. Г. Путря, В. И. Шевяков Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем Часть 2 Copyright ОАО «ЦКБ «БИБКОМ» & ООО «Aгентство Kнига-Cервис» М. А. Королёв, Т. Ю. Крупкина, М. Г. Путря, В. И. Шевяков Т е х н о л о г и я, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем Под общей редакцией 2-е издание (электронное) Часть 2 Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования Рекомендовано в области радиотехники, электроники, биомедицинской техники и автоматизации в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению 210100 «Электроника и микроэлектроника» Москва БИНОМ. Лаборатория знаний 2012 Copyright ОАО «ЦКБ «БИБКОМ» & ООО «Aгентство Kнига-Cервис» УДК 621. 382. 049. 77. 002(07) ББК 32. 852 K68 Королёв М. А. K68 Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем [Электронный ре- сурс] : в 2 ч. Ч. 2 / М. А. Королёв, Т. Ю. Крупкина, М. Г. Путря, В. И. Шевяков ; М. А. Королёв [и др. ] ; под об- щей ред. чл. -корр. РАН проф. Ю. А. Чаплыгина. — 2-е изд. (эл. ). — М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2012. — 422 с. : ил. ISBN 978-5-9963-0913-9 (Ч. 2) ISBN 978-5-94774-583-2 Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния.