А. В. Федоров, А. В. Баранов, В. Г. Маслов, А. О. Орлова, Е. В. Ушакова, М. Ю. Леонов, В. Г. Голубев
ФИЗИКА НАНОСТРУКТУР
Учебное пособие
Санкт-Петербург
2014
«САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ
ИНФОРМАЦИОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ, МЕХАНИК И ОПТИКИ»
А. В. Федоров, А. В. Баранов, В. Г. Маслов, А. О. Орлова,
Е. В. Ушакова, М. Ю. Леонов, В. Г. Голубев
ФИЗИКА НАНОСТРУКТУР
Учебное пособие
Санкт-Петербург
2014
Федоров А. В. , Баранов А. В. , Маслов В. Г. , Орлова А. О. , Ушакова
Е. В. , Леонов М. Ю. , Голубев В. Г. Физика наноструктур. Учебное
пособие. – СПб: Университет ИТМО, 2014. – 130 с. Рис. 62. Библ. 135. Настоящий учебный курс является базовым для магистерской программы
«Физика наноструктур».
В пособии изложены основы современных
физических моделей, применимых для описания таких наноструктур как
полупроводниковые квантовые ямы, квантовые нити, квантовые точки,
углеродные нанотрубки, графен и металлические наночастицы. В нем
дано описание основных физических эффектов и явлений, характерных
для систем с пониженной размерностью. Учебное пособие предназначено для обучения магистров по направлению
200700 Фотоника и оптоинформатика для изучения дисциплины «Физика
наноструктур». Материал может быть рекомендован для студентов
старших курсов физико-технических специальностей, а также при
подготовке магистров и аспирантов, специализирующихся в области
физики наноструктур и нанотехнологиях. Рекомендовано УМО вузов Российской Федерации по образованию в
области приборостроения и оптотехники для студентов высших учебных
заведений, обучающихся по направлениям подготовки магистратуры
12. 04. 03 (200700) «Фотоника и оптоинформатика». Протокол заседания
Президиума УМО № 2 от 09. 04. 2014. © Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет
информационных технологий, механики и оптики, 2014. © Федоров А. В. , Баранов А. В. , Маслов В. Г. , Орлова А. О. , Ушакова Е. В. ,
Леонов М. Ю. , Голубев В. Г. , 2014
О Г Л АВ Л Е НИ Е
ВВЕДЕНИЕ 5
Нанообъекты и нанотехнология 6
ГЛАВА 1. ОСНОВЫ ТЕХНОЛОГИИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ 17
НАНОСТРУКТУР
§1. 1. Молекулярно-лучевая эпитаксия 17
§1. 2. Газофазная эпитаксия 20
§1. 3. Нанолитография 23
§1. 4. Синтез коллоидных наночастиц 24
§1. 5. Синтез фуллеренов, углеродных нанотрубок и графена 25
§1. 6. Самоорганизация наночастиц 29
ГЛАВА 2. МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ НАНОСТРУКТУР 35
§2. 1. Электронная микроскопия 35
§2. 2. Сканирующая зондовая микроскопия 37
§2. 3. Рентгеновский анализ 40
§2. 4. Оптическая спектроскопия 42
ГЛАВА 3.