Читать онлайн «Базовые технологические операции фотолитографии и оборудование для их реализации : учебно-методическое пособие»

Министерство образования Республики Беларусь Учреждение образования «Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники» Факультет радиотехники и электроники Кафедра микро- и наноэлектроники Р УИ БГ БАЗОВЫЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОПЕРАЦИИ ФОТОЛИТОГРАФИИ И ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ИХ РЕАЛИЗАЦИИ а т ек Рекомендовано УМО по образованию в области информатики и радиоэлектроники ио в качестве учебно-методического пособия для специальностей 1-41 01 02 «Микро- и наноэлектронные технологии и системы», 1-41 01 03 «Квантовые информационные системы» бл Би Минск БГУИР 2017 УДК 776. 1:621. 3. 049. 77(076) ББК 32. 844. 1я73 Б17 А в т о р ы: Ю. А. Родионов, Д. А. Котов, В. И. Плебанович, Н. С. Ковальчук Р е ц е н з е н т ы: кафедра радиоэлектроники филиала «Минский радиотехнический колледж» Р учреждения образования «Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники» УИ (протокол №5 от 05. 01. 2015); профессор кафедры микро- и нанотехники Белорусского национального технического университета, БГ доктор технических наук, профессор В. А. Сычик а ек Базовые технологические операции фотолитографии и Б17 оборудование для их реализации : учеб. -метод. пособие / Ю. А. Родионов [и др. ]. – Минск : БГУИР, 2017. – 72 с. : ил. т ISBN 978-985-543-249-5. ио Рассмотрены физико-химические основы базовых техпроцессов фотолитографии и основные виды соответствующего оборудования. Особое внимание уделено выбору технологических режимов для обеспечения качества как промежуточных операций, так бл и конечного продукта в целом. Рассмотрены основные причины возникновения типичных браков и предложены наиболее эффективные пути их минимизации. Рекомендовано в качестве учебно-методического пособия по учебным дисциплинам «Технология изготовления интегральных микросхем», «Технологические процессы в Би микроэлектронике», «Микроэлектронные устройства». УДК 776. 1:621. 3. 049. 77(076) ББК 32. 844. 1я73 ISBN 978-985-543-249-5 © УО «Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники», 2017 2  СОДЕРЖАНИЕ Основные термины и определения ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . 4 Глава 1 Планарная технология и литография ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . 5 1. 1 Место литографии в технологии ИС ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . 5 1. 2 Литографические процессы: сущность, этапы и основные операции ... ... . 7 1. 3 Фоторезисты и их свойства ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... . 8 Глава 2 Основные этапы процесса фотолитографии ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 17 2. 1 Этап 1.