ПРОБЛЕМЫ НАУКИ
И ТЕХНИЧЕСКОГО ПРОГРЕССА
В. И. ГВОЗДЕВ, Е. И. НЕФЁДОВ
ОБЪЕМНЫЕ
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
СВЧ—ЭЛЕМЕНТНАЯ БАЗА
АНАЛОГОВОЙ И ЦИФРОВОЙ
РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ
ш
МОСКВА «НАУКА»
ГЛАВНАЯ РЕДАКЦИЯ
ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКОЙ ЛИТЕРАТУРЫ
1987
ББК 22. 33
Г25
УДК 537(023)
Рецензент
доктор физико-математических наук Б. М. Бодотовский
Гвоздев В. И. , Нефёдов Е. И. Г 25 Объемные интегральные схемы
СВЧ—элементная база аналоговой и цифровой
радиоэлектроники. — М. : Наука. Гл. ред. физ. -мат. лит. ,
1987.
— 112 с, ил. — (Пробл. науки и техн. прогресса)
40 коп. , 15000 экз. Изложены новые идеи разработки базовых элементов
функциональных устройств на основе интегральных схем, открывающих
большие возможности для улучшения массогабаритиых,
радиационных и других параметров современной радиоэлектронной аппаратуры
СВЧ диапазона, развития систем цифровой обработки информации,
перспективы создания элементной базы для сверхбыстродействующих
ЭЦВМ. Для научно-технических работников различных отраслей
промышленности, занимающихся проблемами радиоэлектроники,
вычислительной техники, интегральной технологии в приборостроении. © Издательство «Наука». Главная редакция
физико-математической
литературы, 1987
ПРЕДИСЛОВИЕ
Там, где прежде были границы
науки, там теперь ее центр. J Г. К- Лихтенберг 1)
Современные радиофизика, радиоэлектроника (РЭ) и в
целом системы для обработки больших массивов информации
неуклонно следуют по пути изучения и освоения все более
коротковолновых диапазонов электромагнитных волн, а
также волн другой природы: акустоэлектронных, магнито-
статических и др. [1]. В последнее десятилетие весьма
интенсивно исследуются и технически осваиваются
диапазоны коротких волн — сантиметровых, миллиметровых,
субмиллиметровых и световых. Эффективность научного и
технического освоения и использования в народном хозяйстве
и в прикладных проблемах достижений радиофизики и
радиоэлектроники существенно зависит от состояния и
возможностей элементной базы: источников и приемников
излучения, канализирующих, излучающих и колебательных
систем и других компонентов аппаратуры. Особое значение
приобретают новые методы построения устройств СВЧ,
основанные на планарных [2,5J интегральных схемах
(ИС) или (и) объемных интегральных схемах (ОИС) [3, 4]. ОИС СВЧ являются в настоящее время высшим этапом
развития идей интегральной технологии в
приборостроении. В ОИС СВЧ структурах радиосигнал обрабатывается
не только в плоскости схемы (планарные ИС), но и «по
вертикали» (ОИС). Использование трехмерной конструкции
расположения базовых элементов (БЭ) и обработка сигнала
во всем объеме открывают, с одной стороны, широкие
возможности улучшения электродинамических, массогабарит-
ных, климатических, радиационных и других параметров
радиофизической, радиоэлектронной, вычислительной
аппаратуры (например, только использование трехмерной
конструкции расположения микропроцессоров в ЭЦВМ
позволило увеличить быстродействие на порядок), но, с
другой — требуют интенсивной разработки новых
адекватных физических- и математических моделей БЭ, создания
г) Лихтенберг Г.