Читать онлайн «Технология материалов и изделий электронной техники: Лабораторный практикум»

Федеральное агентство по образованию Российской Федерации Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Ивановский государственный химико-технологический университет Г. Д. Кротова, В. Ю. Дубровин, В. А. Титов, Т. Г. Шикова ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ И ИЗДЕЛИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ Лабораторный практикум Иваново 2007 УДК 621. 382 Технология материалов и изделий электронной техники: Лабораторный практикум / Г. Д. Кротова, В. Ю. Дубровин, В. А. Титов, Т. Г. Шикова; ГОУ ВПО Иван. Гос. хим. -технол. ун-т. - Иваново, 2007. 156 с. ISBN 5-9616-0186-2 Лабораторный практикум включает описание 12 лабораторных работ и необходимый для их выполнения теоретический материал по всем модулям курса. В ряде работ сознательно опущены конкретные параметры проведения того или иного процесса. Студенту предлагается самому спланировать ход работы, выбрать режимы проведения процесса и тем самым работа приобретает учебно-исследовательский характер. Элементы исследования содержат и другие работы, представленные в пособии. Лабораторный практикум предназначен для студентов специальности 240306, изучающих дисциплину "Технология материалов и изделий электронной техники". Общие разделы и описания к лабораторным работам 1,2,3,5,6 подготовлены Кротовой Г. Д. , работа 4 -Дубровиным В. Ю. , работа 7 - Петровым Ю. И. Методика по контролю свойств поверхностей в работе 1 подготовлена Титовым В. А. , методы изучения свойств тонких пленок - Шиковой Т. Г. В подготовке работ по модулю "Технология люминофоров и люминесцирующих покрытий" принимали участие Прик К. Е. и Петров Ю. И. Табл. 11. Ил. 31. Библиогр. : 12 назв. Печатается по решению редакционно-издательского совета ГОУ ВПО Ивановского государственного химико-технологического университета Рецензенты: кандидат химических наук Е. М. Александров (Ивановский государственный химико-технологический университет), доктор технических наук В. К. Семенов (Ивановский государственный энергетический университет). ISBN 5-9616-0186-2 © ГОУ ВПО Ивановский государственный химико- технологический университет, 2007 2  1. ОЧИСТКА ПОДЛОЖЕК ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ И ДЕТАЛЕЙ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРОВ 1. 1. Лабораторная работа № 1 В процессе создания электронных приборов достаточно чистые материалы попадают в условия, когда их поверхность загрязняется. Загрязнения происходят за счет адсорбции примесей из технологических сред, на обрабатываемых поверхностях остаются частицы полировальных паст, продукты разложения фоторезиста, продукты травления поверхности и т. д. Следы этих веществ вносят нежелательные коррективы в технологические параметры процессов изготовления приборов и, как следствие, уменьшают долговечность, резко снижают надежность приборов.