Читать онлайн «Базовые технологические процессы интегральных схем : метод. указания и контр. задания по дисц. «Маршрутная технология интегральных и больших гибридных интегральных схем, датчики и сенсорные устройства» (раздел «Базовые технологическ»

Министерство образования Республики Беларусь Учреждение образования «Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники» Кафедра микро- и наноэлектроники Р УИ БАЗОВЫЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ БГ а Методические указания и контрольные задания ек по дисциплине «Маршрутная технология интегральных и больших гибридных интегральных схем, датчики и сенсорные устройства» т (раздел «Базовые технологические процессы интегральных схем») для студентов специальности I-42 01 02 «Микро- и наноэлектронные технологии и системы» ио заочной и дистанционной форм обучения бл Би Минск 2007 УДК 621. 382. 8. 049. 77(075. 8) ББК 32. 844. 1 я 73 Б 17 Рецензент доцент кафедры ЭТТ БГУИР, канд. техн. наук В. Л. Ланин Р УИ Составитель Ю. А. Родионов БГ а ек Базовые технологические процессы интегральных схем : метод. Б 17 указания и контр. задания по дисц. «Маршрутная технология интегральных и больших гибридных интегральных схем, датчики и т сенсорные устройства» (раздел «Базовые технологические процессы интегральных схем») для студ. спец. I-42 01 02 «Микро- и ио наноэлектронные технологии и системы» заоч. и дист. форм обуч. / сост. Ю. А. Родионов. – Минск : БГУИР, 2007. – 18 с. : ил. бл В методических указаниях обобщены сведения по основным технологическим процессам производства кремниевых дискретных приборов, интегральных схем и МЭМС. Рабочая программа по данной дисциплине дополнена методическими указаниями к ней, приводится перечень лабораторных работ и контрольные задания. Би УДК 621. 382. 8. 049. 77(075. 8) ББК 32. 844. 1 я 73 © Родионов Ю. А. , составление, 2007 © УО «Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники», 2007 2  Содержание 1. ОБЩИЕ УКАЗАНИЯ ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... ... 5 1. 1.